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产品优势：
1、极限真空度，可达6.6X10-5Pa；
2、抽速快，抽气20-30分钟内可做实验；
3、真空室内外表面经过特殊电化学抛光处理，可持久保持洁净真空状态；
4、新型磁控溅射靶，提高靶材利用率及膜厚均匀性；
5、新型样品台，旋转、升降更顺畅，?？榛峁股杓?；
6、新型质量流量控制器，高精度控制进气；
7、脂润滑分子泵抽速快，缩短抽气时间，并提供洁净真空环境；
8、 整机一体式设计结构，美观大方，并采用触摸屏集成自动控制方式，操作更集中、更便捷。
1、极限真空度：优于6.6X10-5Pa；
2、抽速：30分钟可达到6.6X10-4Pa；
3、磁控溅射靶：2英寸x3套；
4、直流溅射电源：500Wx2套；
5、射频溅射电源：500Wx1套；
6、样品尺寸：4英寸x1片；
7、样品温度：600℃；
8、脂润滑分子泵：1套；
9、无油涡旋干泵：1套；
10、自动控制系统：1套；
11、冷却水路系统：1套。
公司：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
地址：沈阳市浑南新区新源街1号
销售电话：024-23826899、024-23826855
售后电话：024-23826838
传真：024-23826828
邮箱：sales@sky.ac.cn
网址：www.webinar-games.com
开户行：建行沈阳浑南新区产业园分理处
账号：2100 1394 6010 5958 1266
纳税号：912101 0041 0581 2660
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